碳化硅功率器件正式步入12英寸新时代,英飞凌成功突破300mm碳化硅功率器件晶圆制造
新浪财经 ·
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11月11日讯,全球碳化硅产业向大尺寸晶圆演进再获重要进展。英飞凌近日宣布,成功在300mm(12英寸)碳化硅晶圆上制造出功能性功率器件,成为全球首家在全规模半导体晶圆厂环境中实现该技术突破的企业。这是继天岳先进2024年11月发布300mm N型碳化硅衬底后,产业链协同攻关后的又一重大历史突破,为碳化硅功率器件的广泛应用,提供了有力保障。12英寸晶圆是8英寸晶圆面积的2.25倍,可以共享12英寸芯片的先进制程,有效降低碳化硅芯片成本。
业内认为,随着国际功率半导体厂商加快布局大尺寸碳化硅器件制造,上游衬底材料企业在晶体生长、晶圆加工及产品良率等方面的技术能力将成为产业竞争的重要因素,大尺寸碳化硅衬底的产业化价值有望进一步提升。
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